- Tytuł:
- Micromechanical electrostatic field sensor for the characterization of charges in MEMS devices
- Autorzy:
- Źródło:
- Sensors & Actuators A: Physical. Sep2004, Vol. 115 Issue 2/3, p280-285. 6p.
- Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.