- Tytuł :
- Low temperature epitaxial growth of GaP on Si by atomic-layer deposition with plasma activation.
- Autorzy :
- Źródło :
- Journal of Physics: D Applied Physics. 8/19/2020, Vol. 53 Issue 34, p1-6. 6p.
-
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.