Tytuł pozycji:
2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
-
Tytuł :
-
2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
-
Autorzy :
-
Meinel, Katja (AUTHOR)
Melzer, Marcel (AUTHOR)
Stoeckel, Chris (AUTHOR)
Shaporin, Alexey (AUTHOR)
Forke, Roman (AUTHOR)
Zimmermann, Sven (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Otto, Thomas (AUTHOR)
Kuhn, Harald (AUTHOR)
- Pokaż więcej
-
Źródło :
-
Sensors (14248220). Nov2020, Vol. 20 Issue 22, p6599. 1p.
-
-
Czasopismo naukowe
Zaloguj się, aby uzyskać dostęp do pełnego tekstu.
