Інформація

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Назва предмета:

2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.

Tytuł:
2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
Autorzy:
Meinel, Katja (AUTHOR)
Melzer, Marcel (AUTHOR)
Stoeckel, Chris (AUTHOR)
Shaporin, Alexey (AUTHOR)
Forke, Roman (AUTHOR)
Zimmermann, Sven (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Otto, Thomas (AUTHOR)
Kuhn, Harald (AUTHOR)
Źródło:
Sensors (14248220). Nov2020, Vol. 20 Issue 22, p6599. 1p.
Czasopismo naukowe
Zaloguj się, aby uzyskać dostęp do pełnego tekstu.