- Tytuł:
- 2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
- Autorzy:
- Źródło:
- Sensors (14248220). Nov2020, Vol. 20 Issue 22, p6599. 1p.
- Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.