- Tytuł:
-
The structure of Si–SiO
2 layers with high excess Si content prepared by magnetron sputtering - Autorzy:
- Źródło:
- Thin Solid Films. Jul2009, Vol. 517 Issue 18, p5468-5473. 6p.
- Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.