Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Przeglądasz jako GOŚĆ
Tytuł pozycji:

Wide vacuum pressure range monitoring by Pirani SAW sensor.

Tytuł :
Wide vacuum pressure range monitoring by Pirani SAW sensor.
Autorzy :
Nicolay P; LPMIA, UMR 7040 CNRS, Nancy University, 54506 Vandoeuvre-lès-Nancy, France
Elmazria O
Sarry F
Bouvot L
Kambara H
Singh KJ
Alnot P
Pokaż więcej
Źródło :
IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control [IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control] 2010 Mar; Vol. 57 (3), pp. 684-9.
Typ publikacji :
Journal Article; Research Support, Non-U.S. Gov't
Język :
English
Imprint Name(s) :
Original Publication: New York, NY : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c1985-
Entry Date(s) :
Date Created: 20100310 Date Completed: 20100618 Latest Revision: 20100309
Update Code :
20210623
DOI :
10.1109/TUFFC.2010.1465
PMID :
20211788
Czasopismo naukowe
A new kind of surface acoustic wave (SAW) sensor has been developed to measure sub-atmospheric pressure below 100 mtorr with accuracy better than 0.1 mtorr. It provides an efficient measuring solution in the pressure range inaccessible in past by conventional diaphragm-based SAW sensors. Indeed, because of the small bending force in lower pressure and limited sensitivity, diaphragm-based SAW sensors are only suited to monitor relatively high pressure with a precision hardly better than 0.5 torr. To reach precision level better than 1 mtorr at sub-atmospheric pressure for vacuum technology applications, a radically different SAW-based solution is necessary. Our device aims to measure sub-atmospheric pressure less than 100 mtorr with a threshold resolution better than 0.1 mtorr. The concept is similar to the one used by Pirani pressure gauges. However, it is claimed that a heated and suspended SAW device should have better sensitivity. A theoretical model based on the basic concepts of gas kinetic theory and thermodynamics is presented. The validity of the model is checked by comparison between theoretical and experimental results.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies