Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Przeglądasz jako GOŚĆ
Tytuł pozycji:

Implementation of a low temperature wafer bonding process for acceleration sensors.

Tytuł :
Implementation of a low temperature wafer bonding process for acceleration sensors.
Autorzy :
Wiemer, Maik
Otto, Thomas
Gessner, Thomas
Hiller, Karla
Kapser, Konrad
Seidel, Helmut
Bagdahn, Joerg
Petzold, Matthias
Pokaż więcej
Źródło :
MRS Online Proceedings Library; 2001, Vol. 682 Issue 1, p1-6, 6p
Konferencja

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies