Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Post-processing gap reduction in a micromachined resonator for vacuum pressure measurement.

Szczegóły

Tytuł:: Post-processing gap reduction in a micromachined resonator for vacuum pressure measurement.
Autorzy:: Billep, Detlef
Hiller, Karla
Fromel, Jorg
Tenholte, Dirk
Reuter, Danny
Dotzel, Wolfram
Gessner, Thomas
Źródło:: Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p341-350, 10p
: Konferencja

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies

Informacja

Post-processing gap reduction in a micromachined resonator for vacuum pressure measurement.