Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Przeglądasz jako GOŚĆ
Tytuł pozycji:

Innovative thin film techniques for microfabricating electrochemical sensors

Tytuł :
Innovative thin film techniques for microfabricating electrochemical sensors
Autorzy :
Schöning, M.J.
Schubert, J.
Kloock, J.P.
Zander, W.
Mourzina, Y.G.
Legin, A.
Vlasov, Y.G.
Lüth, H.
Pokaż więcej
Temat :
czujniki elektrochemiczne
technologia cienkowarstwowa
thin-film technology
pulsed laser deposition technique
heavy metal determination
Źródło :
Biocybernetics and Biomedical Engineering.
Typ dokumentu :
Article
Język :
English
Dostęp URL :
http://yadda.icm.edu.pl/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BPZ3-0006-0059
Numer akcesji :
edsbzt.bwmeta1.element.baztech.article.BPZ3.0006.0059
Periodyk
The pulsed laser deposition (PLD) technique is proposed as an innovative semiconductor-compatible fabrication technique in order to realise different thin film materials for chemical sensor applications. As two examples, Ta(2)0(5) and Al(2)0(3) layers on top of capacitive Si/Si0(2) structures and chalcogenide glass layers on metallised Si substrates show a nearly-Nernstian pH sensitivity of about 55-58 mV per decade and a high sensitivity towards bi- and univalent heavy metal ions of about 25-29 mV and 56-60 mV per decade, respectively. The layer thickness of the sensor materials is in the nm range. Even multi-component systems consisting of up to five different elements can be stoichiometrically deposited. Besides the electrochemical sensor characterisation, Rutherford backscattering spectrometry, ion channeling experiments, X-ray diffractometry and transmission electron microscopy have been performed in order to study the physical layer structure of the pulsed laser-deposited thin film materials.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies