- Tytuł:
- Atomic layer deposited WN xC y films growth on SiC surfaces
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronic Engineering 2006 83(11):2068-2071
- Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.