- Tytuł:
- Angular distributions of sputtered atoms for low-energy nitrogen irradiation of silicon
- Autorzy:
- Źródło:
- Applied Physics A: Materials Science and Processing. August 1991 53(2):179-184
- Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.