Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Measurement of the linear dimensions of nanorelief elements with a trapezoidal profile by defocusing the electron beam of a scanning electron microscope

Tytuł:
Measurement of the linear dimensions of nanorelief elements with a trapezoidal profile by defocusing the electron beam of a scanning electron microscope
Autorzy:
Gavrilenko, V. P.
Kuzin, A. Yu.
Larionov, Yu. V.
Mityukhlyaev, V. B.
Rakov, A. V.
Todua, P. A.
Filippov, M. N.
Źródło:
Measurement Techniques. August 2012 55(5):514-518
Czasopismo naukowe

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies