Tytuł pozycji:
Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater
-
Tytuł :
-
Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater
-
Autorzy :
-
Meszmer, Peter
Hiller, Karla
Hartmann, Steffen
Shaporin, Alexey
May, Daniel
Rodriguez, Raul David
Arnold, Jörg
Schondelmaier, Gianina
Mehner, Jan
Zahn, Dietrich R. T.
Wunderle, Bernhard
- Pokaż więcej
-
Źródło :
-
Microsystem Technologies: Micro- and NanosystemsInformation Storage and Processing Systems. June 2014 20(6):1041-1050
-
-
Czasopismo naukowe