Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Scanning probe-based nanolithography: nondestructive structures fabricated on silicon surface via distinctive anisotropic etching in HF/HNO3 mixtures

Tytuł:
Scanning probe-based nanolithography: nondestructive structures fabricated on silicon surface via distinctive anisotropic etching in HF/HNO3 mixtures
Autorzy:
Wu, Lei
Zhang, Pei
Feng, Chengqiang
Gao, Jian
Yu, Bingjun
Qian, Linmao
Źródło:
Journal of Materials Science. 56(5):3887-3899
Czasopismo naukowe
Zaloguj się, aby uzyskać dostęp do pełnego tekstu.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies