- Tytuł:
- Investigation of air damping effect in two kinds of capacitive MEMS accelerometers
- Autorzy:
- Źródło:
- Microsystem Technologies: Micro- and NanosystemsInformation Storage and Processing Systems. 24(4):2017-2023
- Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.