- Tytuł:
- Design, fabrication and characterization of piezoelectric cantilever MEMS for underwater application
- Autorzy:
- Temat:
-
MEMS
Cantilevers
AlN
Piezoelectricity
Laser Doppler Vibrometer
Hydrophone
Electronics
TK7800-8360
Technology (General)
T1-995 - Źródło:
- Micro and Nano Engineering, Vol 7, Iss , Pp - (2020)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2590007220300058; https://doaj.org/toc/2590-0072
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/937910f64a9641af80a38fa2f95e6f54  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe