- Tytuł:
- Structural and optical characterization of fluorinated hydrogenated silicon carbide films deposited by pulsed glow discharge
- Autorzy:
- Źródło:
- In Surface & Coatings Technology 2006 200(20):6079-6082
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.