- Tytuł:
- Silicon microresonator arrays: A comprehensive study on fabrication techniques and pH-controlled stress-induced variations in cantilever stiffness
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronic Engineering 15 April 2024 287
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.