- Tytuł:
- Optimization of Electron-Beam Evaporation Process Parameters for ZrN Thin Films by Plasma Treatment and Taguchi Method
- Autorzy:
- Temat:
-
zirconium nitride
electron-beam evaporation
ion-assisted deposition
optimization parameters
Physics
QC1-999
Plasma physics. Ionized gases
QC717.6-718.8 - Źródło:
- Plasma, Vol 6, Iss 3, Pp 478-491 (2023)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- https://www.mdpi.com/2571-6182/6/3/33; https://doaj.org/toc/2571-6182
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/7f3aa8627193496589735888aecb61d9  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe