- Tytuł :
- Stability and interdiffusion of short-period Si/Ge strained layer superlattices
- Współwytwórcy :
- Abstreiter, G [Walter Schottky Inst. der TU Muenchen, Garching (Germany)]
- Źródło :
- Journal of Vacuum Science and Technology. B, Microelectronics Processing and Phenomena; (United States); 9:4; Conference: 37. national American Vacuum Society symposium, Toronto (Canada), 8-12 Oct 1990
- Materiał oryginalny :
-
CONF-901035--
CODEN: JVTBD - Opis pliku :
- Medium: X; Size: Pages: 2045-2047
- Dostęp URL :
- http://www.osti.gov/scitech/biblio/7306059
-
Konferencja