- Tytuł:
- Surface Morphology and Sputtering Mechanism of Etched Areas of a Metallic Target by Magnetron Sputtering
- Autorzy:
- Źródło:
- Journal of Electronic Materials. 50(4):2409-2416
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.