- Tytuł:
- Impact of the Cu-based substrates and catalyst deposition techniques on carbon nanotube growth at low temperature by PECVD
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronic Engineering 2007 84(11):2501-2505
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.