- Tytuł:
- The effect of nitrogen incorporation in DLC films deposited by ECR Microwave Plasma CVD
- Autorzy:
- Źródło:
- In Applied Surface Science 30 September 2014 314:46-51
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.