- Tytuł:
- Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications
- Autorzy:
- Temat:
-
metallic thin film
Fabry –Pérot interferometer
visible spectral range
near-infrared
subwavelength gratings
distributed Bragg reflector
Physics
QC1-999
Microscopy
QH201-278.5
Microbiology
QR1-502
Chemistry
QD1-999 - Źródło:
- Micro, Vol 4, Iss 1, Pp 142-156 (2024)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- https://www.mdpi.com/2673-8023/4/1/10; https://doaj.org/toc/2673-8023
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/c72967290265419dad59d921788edef9  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe