Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Przeglądasz jako GOŚĆ

Wyszukujesz frazę ""Farys, V."" wg kryterium: Autor


Tytuł :
Obtention et caractérisations de couches d'oxydes interférométriques à la surface d'aciers inoxydables
Autorzy :
Mantel, M.
Chauveau, E.
Vachey, C.
Mauger, P.
Farys, V.
Berthome, G.
Pokaż więcej
Temat :
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry
[ SPI.GPROC ] Engineering Sciences [physics]/Chemical and Process Engineering
[SPI.GPROC]Engineering Sciences [physics]/Chemical and Process Engineering
[ CHIM.MATE ] Chemical Sciences/Material chemistry
Źródło :
Matériaux 2006, Nov 2006, Dijon, France. 2006
Matériaux 2006, Nov 2006, Dijon, France
Tytuł :
Highly sensitive detection technique of buried defects in extreme ultra violet masks using at wavelength scanning dark-field microscopy
Autorzy :
Farys, V.
Schiavone, P.
Polack, F.
Idir, M.
Bertolo, M.
Bianco, A.
La Rosa, S.
Cautero, G.
Vannuffel, C.
Quesnel, E.
Muffato, V.
Pokaż więcej
Temat :
ultraviolet lithography
silicon
silicon compounds
optical microscopy
masks
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
diffraction gratings
molybdenum
Źródło :
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2005, pp.vol. 87,1 (2005) 024102
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2005, 87, Issue 2, pp.id. 024102. ⟨10.1063/1.1984097⟩
Tytuł :
Analysis of feature shape variation using scatterometry
Autorzy :
Schiavone, P.
Farys, V.
Michallet, A.
Pokaż więcej
Źródło :
SPIE Proceedings Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVI
SPIE'S 2002, Symposium on Microlithography
SPIE'S 2002, Symposium on Microlithography, 2002, United States. pp.vol.4689, (2002)

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies