- Tytuł:
- Electrical characterization of amorphous silicon carbide thin films deposited via polymeric source chemical vapor deposition
- Autorzy:
- Źródło:
- In Thin Solid Films 2008 516(12):3755-3760
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.