- Tytuł:
- Fabrication of MEMS actuators from the BEOL of a 0.25 μm BiCMOS technology platform
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronic Engineering September 2012 97:276-279
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.