- Tytuł:
- Multi-oxide active layer deposition using Applied Materials Pivot array coater for high-mobility metal oxide TFT
- Autorzy:
- Źródło:
- Applied Physics A: Materials Science & Processing. November 2015 121(2):535-539
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.