Wszystkie pola: "Hiller, Karla" - OpacWWW

Skocz do pozycji: 1 1.

Informacja :: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2 2.

Tytuł :: Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners.
Autorzy :: Hiller, Karla
Hahn, Ramon
Kaufmann, Christian
Kurth, Steffen
Kehr, Kersten
Gessner, Thomas
Doetzel, Wolfram
Wiemer, M.
Schubert, I.; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov1999, Issue 1, p58-66, 9p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 3 3.

Tytuł :: Testing microcomponents by speckle interferometry.
Autorzy :: Aswendt, Petra
Hoefling, Roland
Hiller, Karla; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov1999, Issue 1, p165-173, 9p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 4 4.

Tytuł :: Implementation of a low temperature wafer bonding process for acceleration sensors.
Autorzy :: Wiemer, Maik
Otto, Thomas
Gessner, Thomas
Hiller, Karla
Kapser, Konrad
Seidel, Helmut
Bagdahn, Joerg
Petzold, Matthias; Pokaż więcej
Źródło :: MRS Online Proceedings Library; 2001, Vol. 682 Issue 1, p1-6, 6p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 5 5.

Tytuł :: Micromachined pressure gauge for the vacuum range based on damping of a resonator.
Autorzy :: Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Zichner, Norbert
Mehner, Jan
Iwert, Thomas
Biehl, Steffen
Doetzel, Wolfram
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2001, Issue 1, p103-111, 9p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 6 6.

Tytuł :: Tunable Fabry-Perot-Interferometer for 3-5 m wavelength with bulk micromachined reflector carrier.
Autorzy :: Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Neumann, Norbert
Heinze, Matthias
Doetzel, Wolfram
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p215-226, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 7 7.

Tytuł :: MEMS Metallization.
Autorzy :: Lohmann, Christian
Gottfried, Knut
Bertz, Andreas
Reuter, Danny
Hiller, Karla
Kuhn, Michael
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: MRS Online Proceedings Library; 2004, Vol. 812 Issue 1, p1-10, 10p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 8 8.

Tytuł :: An electrically tunable infrared filter on base of Fabry-Perot interferometer.
Autorzy :: Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Neumann, Norbert
Heinze, Matthias
Doetzel, Wolfram
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p95-100, 6p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 9 9.

Tytuł :: Author index.
Źródło :: 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05; 2005, p1103-1114, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 10 10.

Tytuł :: Author Index.
Źródło :: 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05; 2005, p2163-2174, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 11 11.

Tytuł :: Bonding and deep RIE: a powerful combination for high-aspect-ratio sensors and actuators.
Autorzy :: Hiller, Karla
Kuechler, Matthias
Billep, Detlef
Schroeter, Bernd
Dienel, Marco
Scheibner, Dirk
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p80-91, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 12 12.

Tytuł :: Model building, control design and practical implementation of a high precision high dynamical MEMS acceleration sensor (Invited Paper).
Autorzy :: Wolfram, Heiko
Schmiedel, Ralf
Hiller, Karla
Aurich, Torsten
Gunther, Wolfgang
Kurth, Steffen
Mehner, Jan
Dotzel, Wolfram
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p326-340, 15p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 13 13.

Tytuł :: Post-processing gap reduction in a micromachined resonator for vacuum pressure measurement.
Autorzy :: Billep, Detlef
Hiller, Karla
Fromel, Jorg
Tenholte, Dirk
Reuter, Danny
Dotzel, Wolfram
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p341-350, 10p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 14 14.

Tytuł :: Tunable infrared detector with integrated micromachined Fabry-Perot filter.
Autorzy :: Neumann, Norbert
Ebermann, Martin
Hiller, Karla
Kurth, Steffen; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2007, Issue 1, p646606-646606-12, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 15 15.

Tytuł :: Reliability of MEMS devices in shock and vibration overload situations.
Autorzy :: Kurth, Steffen
Shaporin, Alexey
Hiller, Karla
Kaufmann, Christian
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2008, Issue 1, p688409-688409-12, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 16 16.

Tytuł :: Novel MWIR microspectrometer based on a tunable detector.
Autorzy :: Neumann, Norbert
Ebermann, Martin
Kurth, Steffen
Hiller, Karla; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72080D-72080D-8, 8p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 17 17.

Tytuł :: Tunable mid-infrared filter based on Fabry-Perot interferometer with two movable reflectors.
Autorzy :: Meinig, Marco
Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Neumann, Norbert
Ebermann, Martin
Gittler, Elvira
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2011, Issue 1, p79300K-79300K-12, 12p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 18 18.

Tytuł :: Piezoresistive force sensor and thermal actuators usage as applications to nanosystems manipulation: Design, simulations, technology and experiments.
Autorzy :: Schondelmaier, Gianina
Hartmann, Steffen
May, Daniel
Shaporin, Alexey
Voigt, Sebastian
Rodriguez, R.D.
Gordan, O.D.
Zahn, D.R.T.
Mehner, Jan
Hiller, Karla
Wunderle, Bernhard; Pokaż więcej
Źródło :: 2013 14th International Conference on Thermal, Mechanical & Multi-Physics Simulation & Experiments in Microelectronics & Microsystems (EuroSimE); 2013, p1-6, 6p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 19 19.

Tytuł :: Design, technology, numerical simulation and optimization of building blocks of a micro and nano scale tensile testing platform with focus on a piezoresistive force sensor.
Autorzy :: Meszmer, Peter
Hiller, Karla
May, Daniel
Hartmann, Steffen
Shaporin, Alexey
Mehner, Jan
Wunderle, Bernhard; Pokaż więcej
Źródło :: 2014 15th International Conference on Thermal, Mechanical & Multi-Physics Simulation & Experiments in Microelectronics & Microsystems (EuroSimE); 2014, p1-10, 10p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 20 20.

Informacja :: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 21 21.

Tytuł :: Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater.
Autorzy :: Meszmer, Peter
Hiller, Karla
Hartmann, Steffen
Shaporin, Alexey
May, Daniel
Rodriguez, Raul
Arnold, Jörg
Schondelmaier, Gianina
Mehner, Jan
Zahn, Dietrich
Wunderle, Bernhard; Pokaż więcej
Temat :: MICROELECTROMECHANICAL systems
ELECTRICAL engineering materials
ACTUATORS
ELECTROMECHANICAL devices
ACTUATOR manufacturing
Źródło :: Microsystem Technologies; Jun2014, Vol. 20 Issue 6, p1041-1050, 10p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 22 22.

Tytuł :: Resolution and speed improvements of mid infrared Fabry-Perot microspectrometers for the analysis of hydrocarbon gases.
Autorzy :: Ebermann, Martin
Neumann, Norbert
Hiller, Karla
Seifert, Mario
Meinig, Marco
Kurth, Steffen; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; Nov2014, p1-9, 9p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 23 23.

Tytuł :: Yet another tuning fork gyroscope.
Autorzy :: Forke, Roman
Hiller, Karla
Hahn, Susann
Konietzka, Stefan
Motl, Tim
K?hler, Daniel
Heinz, Steffen
Billep, Detlef
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: 2015 IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (ISISS) Proceedings; 2015, p1-4, 4p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 24 24.

Tytuł :: Author index.
Źródło :: 2015 IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (ISISS) Proceedings; 2015, p133-135, 3p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 25 25.

Tytuł :: Acknowledgement to Reviewers of Micromachines in 2016.
Źródło :: Micromachines; Jan2017, Vol. 8 Issue 1, p19, 6p
Ludzie :: ABATE, Adam
BASU, Anirban
BEYNE, Eric
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 26 26.

Tytuł :: A multi-functional MEMS-SPM for quantitative characterization of nano-objects.
Autorzy :: Zhi Li
Sai Gao
Brand, Uwe
Hiller, Karla
Wollschläger, Nicole
Xianghui Zhang; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; 6/2/2017, Vol. 10246, p1-8, 8p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 27 27.

Tytuł :: Challenges of Nanostructure-Integration in Fabry-Pérot Interferometers as Alternative to Bragg Reflectors - an Example for Match 1:1-, eBeam- and Nanoimprint Lithography.
Autorzy :: Helke, Christian
Hiller, Karla
Erben, Jens W.
Reuter, Danny
Meinig, Marco
Kurth, Steffen
Nowak, Christoph
Kleinjans, Herberth
Otto, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; 10/10/2017, Vol. 10446, p1-9, 9p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 28 28.

Tytuł :: Integrated Microsystems for Smart Applications.
Autorzy :: Otto, Thomas
Kurth, Steffen
Voigt, Sven
Morschhauser, Andreas
Meinig, Marco
Hiller, Karla
Moebius, Martin
Vogel, Martina; Pokaż więcej
Temat :: MICROTECHNOLOGY
INTERNET of things
SMARTPHONES
SMART power grids
NANOELECTRONICS
Źródło :: Sensors & Materials; 2018, Vol. 30 Issue 4, Part 1, p767-778, 12p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 29 29.

Tytuł :: VIS Fabry-Pérot Interferometers with (TiO2/PE-SiO2)³ Bragg-reflectors on 5 mm large LP-Si3N4 membranes.
Autorzy :: Helke, Christian
Hiller, Karla
Seiler, Jan
Werner, Thomas
Meinig, Marco
Kurth, Steffen
Otto, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; 12/25/2018, Vol. 10931, p1-8, 8p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 30 30.

Tytuł :: A MEMS IR optical chopper based on subwavelength structures.
Autorzy :: Kurth, Steffen
Meinig, Marco
Wecker, Julia
Seifert, Mario
Hiller, Karla
Otto, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: Proceedings of SPIE; 2/14/2019, Vol. 10982, p1-9, 9p
: Konferencja

Szczegóły

Skocz do pozycji: 31 31.

Tytuł :: Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components.
Autorzy :: Freitag, Markus
Sauppe, Matthias
Auerswald, Christian
Kriebel, David
Schmidt, Henry
Voigt, Sebastian
Arnold, Benjamin
Markert, Erik
Hahn, Susann
Hiller, Karla
Heinkel, Ulrich
Mehner, Jan; Pokaż więcej
Temat :: NANOELECTROMECHANICAL systems
MICROELECTROMECHANICAL systems
DIRECT currents
CARBON nanotubes
DESIGN
ACOUSTIC emission
Źródło :: Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science; Oct2019, Vol. 216 Issue 19, pN.PAG-N.PAG, 1p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 32 32.

Tytuł :: Highly Miniaturized MEMS‐Based Test Platforms for Thermo‐Mechanical and Reliability Characterization of Nano‐Functional Elements − Technology and Functional Test Results.
Autorzy :: Meszmer, Peter
Hahn, Susann
Hiller, Karla
Wunderle, Bernhard; Pokaż więcej
Temat :: TACTILE sensors
ALUMINUM wire
RELIABILITY in engineering
TEST reliability
TECHNOLOGY
NANOPOSITIONING systems
Źródło :: Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science; Oct2019, Vol. 216 Issue 19, pN.PAG-N.PAG, 1p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 33 33.

Tytuł :: Sensoric Micro and Nano Systems.
Autorzy :: Zahn, Dietrich R. T.
Schulz, Stefan E.
Hiller, Karla
Wagner, Christian
Reuter, Danny
Otto, Thomas; Pokaż więcej
Temat :: MICROELECTROMECHANICAL systems
DIGITAL electronics
ELECTRONIC equipment
MOORE'S law
MICROELECTRONICS
SMART materials
ELECTRONIC systems
Źródło :: Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science; Oct2019, Vol. 216 Issue 19, pN.PAG-N.PAG, 1p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 34 34.

Tytuł :: Nanomechanical Characterization of Vertical Nanopillars Using an MEMS-SPM Nano-Bending Testing Platform.
Autorzy :: Li, Zhi
Gao, Sai
Brand, Uwe
Hiller, Karla
Hahn, Susann
Hamdana, Gerry
Peiner, Erwin
Wolff, Helmut
Bergmann, Detlef; Pokaż więcej
Temat :: BENDING (Metalwork)
DIGITAL image correlation
SCANNING probe microscopy
QUALITY control
MICROELECTROMECHANICAL systems
SCANNING systems
Źródło :: Sensors (14248220); Oct2019, Vol. 19 Issue 20, p4529, 1p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst Pełny tekst

Skocz do pozycji: 35 35.

Tytuł :: The Limits of the Post‐Growth Optimization of AlN Thin Films Grown on Si(111) via Magnetron Sputtering.
Autorzy :: Solonenko, Dmytro
Schmidt, Constance
Stoeckel, Chris
Hiller, Karla
Zahn, Dietrich R. T.; Pokaż więcej
Temat :: ANNEALING of metals
MAGNETRON sputtering
THIN films
SCANNING probe microscopy
FOURIER transform infrared spectroscopy
RUTHERFORD backscattering spectrometry
ALUMINUM nitride
ALUMINUM nitride films
Źródło :: Physica Status Solidi (B); May2020, Vol. 257 Issue 5, p1-9, 9p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 36 36.

Tytuł :: 2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
Autorzy :: Meinel, Katja
Melzer, Marcel
Stoeckel, Chris
Shaporin, Alexey
Forke, Roman
Zimmermann, Sven
Hiller, Karla
Otto, Thomas
Kuhn, Harald; Pokaż więcej
Temat :: ALUMINUM nitride films
PIEZOELECTRIC thin films
PIEZO-electric detectors
MICROMIRROR devices
FLUORESCENCE microscopy
Źródło :: Sensors (14248220); Nov2020, Vol. 20 Issue 22, p6599, 1p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst Pełny tekst

Skocz do pozycji: 37 37.

Tytuł :: Co-sputtering of Al1-xScxN thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies.
Autorzy :: Solonenko, Dmytro
Lan, Chuanqi
Schmidt, Constance
Stoeckel, Chris
Hiller, Karla
Zahn, Dietrich R. T.; Pokaż więcej
Temat :: THIN films
RAMAN spectroscopy
ALUMINUM nitride
X-ray spectroscopy
PHASE separation
METALLIC films
Źródło :: Journal of Materials Science; Dec2020, Vol. 55 Issue 36, p17061-17071, 11p, 3 Graphs
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst Pełny tekst

Skocz do pozycji: 38 38.

Tytuł :: Different mechanisms of oxygenator failure and high plasma von Willebrand factor antigen influence success and survival of venovenous extracorporeal membrane oxygenation.
Autorzy :: Steiger, Tamara
Philipp, Alois
Hiller, Karl-Anton
Müller, Thomas
Lubnow, Matthias
Lehle, Karla; Pokaż więcej
Temat :: OXYGENATORS
VON Willebrand factor
EXTRACORPOREAL membrane oxygenation
OLDER patients
RENAL replacement therapy
ANTIGENS
Źródło :: PLoS ONE; 3/18/2021, Vol. 16 Issue 3, p1-15, 15p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst

Skocz do pozycji: 39 39.

Tytuł :: Piezoelectric Scanning Micromirror With Built-In Sensors Based on Thin Film Aluminum Nitride.
Autorzy :: Meinel, Katja
Stoeckel, Chris
Melzer, Marcel
Zimmermann, Sven
Forke, Roman
Hiller, Karla
Otto, Thomas; Pokaż więcej
Źródło :: IEEE Sensors Journal; 4/15/2021, Vol. 21 Issue 8, p9682-9689, 8p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 40 40.

Tytuł :: Correction to: Co-sputtering of Al1−xScxN thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies.
Autorzy :: Solonenko, Dmytro
Lan, Chuanqi
Schmidt, Constance
Stoeckel, Chris
Hiller, Karla
Zahn, Dietrich R. T.; Pokaż więcej
Temat :: THIN films
RAMAN spectroscopy
Źródło :: Journal of Materials Science; Oct2021, Vol. 56 Issue 28, p16181-16182, 2p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 41 41.

Tytuł :: Bridging the gap: Perspectives of nanofabrication technologies for application-oriented research.
Autorzy :: Baum, Mario
Meinecke, Christoph
Blaudeck, Thomas
Helke, Christian
Reuter, Danny
Hiller, Karla
Hermann, Sascha
Schulz, Stefan E.
Kuhn, Harald; Pokaż więcej
Temat :: NANOFABRICATION
BIOLOGICALLY inspired computing
QUANTUM dots
SYSTEM integration
BIOMOLECULES
NANOPATTERNING
NANOFLUIDICS
SPECTRAL imaging
Źródło :: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; Nov2021, Vol. 39 Issue 6, p1-8, 8p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 42 42.

Tytuł :: Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors.
Autorzy :: Stoeckel, Chris
Meinel, Katja
Melzer, Marcel
Žukauskaitė, Agnė
Zimmermann, Sven
Forke, Roman
Hiller, Karla
Kuhn, Harald; Pokaż więcej
Temat :: MICROMIRRORS
ALUMINUM nitride
PIEZOELECTRIC transducers
PIEZOELECTRIC materials
ELECTRIC fields
HIGH voltages
DEFLECTION (Mechanics)
Źródło :: Micromachines; Apr2022, Vol. 13 Issue 4, pN.PAG-N.PAG, 13p
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Informacja

Prolib Integro - strona głównaUniwersytet Ekonomiczny we Wrocławiu

Wyszukujesz frazę ""Hiller, Karla"" wg kryterium: Wszystkie pola

Aktywne filtry:

Źródło danych

Ogranicz do:

Ogranicz do bazy

Typ dokumentu

Temat

Wydawca

Publikacja

Język