- Tytuł:
- Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten
- Autorzy:
- Temat:
-
ddc:620
ddc:621.3
Drehratensensor
Mikromechanik
Mikrosystemtechnik
Mikrotechnologie
Vakuumsensor - Źródło:
-
Habilitation
Karla Hiller - Dostępność:
-
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______218::7eb8f88036c4c6f27e9269e783809089
https://monarch.qucosa.de/id/qucosa:18214