- Tytuł:
- Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater.
- Autorzy:
- Źródło:
- Microsystem Technologies. Jun2014, Vol. 20 Issue 6, p1041-1050. 10p.
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.