Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę ""Hiller, Karla"" wg kryterium: Autor


Tytuł:
2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
Autorzy:
Meinel K; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.
Melzer M; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.
Stoeckel C; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Shaporin A; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Forke R; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Zimmermann S; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Hiller K; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Otto T; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Kuhn H; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Pokaż więcej
Źródło:
Sensors (Basel, Switzerland) [Sensors (Basel)] 2020 Nov 18; Vol. 20 (22). Date of Electronic Publication: 2020 Nov 18.
Typ publikacji:
Journal Article
Czasopismo naukowe
Tytuł:
Nanomechanical Characterization of Vertical Nanopillars Using an MEMS-SPM Nano-Bending Testing Platform.
Autorzy:
Li Z; Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany. .
Gao S; Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany. .
Brand U; Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany. .
Hiller K; Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologien Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz, Germany. karla.hiller@zfm.tu-chemnitz.de.
Hahn S; Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologien Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Straße 70, 09126 Chemnitz, Germany. .
Hamdana G; Institute of Semiconductor Technology (IHT) and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, 38106 Braunschweig, Germany. .
Peiner E; Institute of Semiconductor Technology (IHT) and Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Technische Universität Braunschweig, 38106 Braunschweig, Germany. .
Wolff H; Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany. .
Bergmann D; Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, D-38116 Braunschweig, Germany. .
Pokaż więcej
Źródło:
Sensors (Basel, Switzerland) [Sensors (Basel)] 2019 Oct 18; Vol. 19 (20). Date of Electronic Publication: 2019 Oct 18.
Typ publikacji:
Journal Article
Czasopismo naukowe

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies