2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
Autorzy:
Meinel K; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany. Melzer M; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany. Stoeckel C; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany. Shaporin A; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany. Forke R; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany. Zimmermann S; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany. Hiller K; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany. Otto T; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany. Kuhn H; Center for Microtechnologies, Chemnitz University of Technology, 09111 Chemnitz, Germany.; Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems ENAS, 09126 Chemnitz, Germany.
Pokaż więcej
Źródło:
Sensors (Basel, Switzerland) [Sensors (Basel)] 2020 Nov 18; Vol. 20 (22). Date of Electronic Publication: 2020 Nov 18.
Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies