Autor: "Hiller, Karla" - OpacWWW

Skocz do pozycji: 1 1.

Tytuł :: Correction to: Co-sputtering of Al1−xScxN thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies.
Autorzy :: Solonenko, Dmytro (AUTHOR)
Lan, Chuanqi (AUTHOR)
Schmidt, Constance (AUTHOR)
Stoeckel, Chris (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Zahn, Dietrich R. T. (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Journal of Materials Science. Oct2021, Vol. 56 Issue 28, p16181-16182. 2p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2 2.

Tytuł :: Co-sputtering of Al1-xScxN thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies.
Autorzy :: Solonenko, Dmytro (AUTHOR)
Lan, Chuanqi (AUTHOR)
Schmidt, Constance (AUTHOR)
Stoeckel, Chris (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Zahn, Dietrich R. T. (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Journal of Materials Science. Dec2020, Vol. 55 Issue 36, p17061-17071. 11p. 3 Graphs.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst Pełny tekst

Skocz do pozycji: 3 3.

Tytuł :: 2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based on Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride.
Autorzy :: Meinel, Katja (AUTHOR)
Melzer, Marcel (AUTHOR)
Stoeckel, Chris (AUTHOR)
Shaporin, Alexey (AUTHOR)
Forke, Roman (AUTHOR)
Zimmermann, Sven (AUTHOR) karla.hiller@zfm.tu-chemnitz.de
Hiller, Karla (AUTHOR)
Otto, Thomas (AUTHOR)
Kuhn, Harald (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Sensors (14248220). Nov2020, Vol. 20 Issue 22, p6599. 1p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst Pełny tekst

Skocz do pozycji: 4 4.

Tytuł :: The Limits of the Post‐Growth Optimization of AlN Thin Films Grown on Si(111) via Magnetron Sputtering.
Autorzy :: Solonenko, Dmytro (AUTHOR)
Schmidt, Constance (AUTHOR)
Stoeckel, Chris (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Zahn, Dietrich R. T. (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Physica Status Solidi (B). May2020, Vol. 257 Issue 5, p1-9. 9p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 5 5.

Tytuł :: Nanomechanical Characterization of Vertical Nanopillars Using an MEMS-SPM Nano-Bending Testing Platform.
Autorzy :: Li, Zhi (AUTHOR)
Gao, Sai (AUTHOR)
Brand, Uwe (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR) karla.hiller@zfm.tu-chemnitz.de
Hahn, Susann (AUTHOR)
Hamdana, Gerry (AUTHOR)
Peiner, Erwin (AUTHOR)
Wolff, Helmut (AUTHOR)
Bergmann, Detlef (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Sensors (14248220). Oct2019, Vol. 19 Issue 20, p4529. 1p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły Pełny tekst Pełny tekst

Skocz do pozycji: 6 6.

Tytuł :: Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components.
Autorzy :: Freitag, Markus (AUTHOR)
Sauppe, Matthias (AUTHOR)
Auerswald, Christian (AUTHOR)
Kriebel, David (AUTHOR)
Schmidt, Henry (AUTHOR)
Voigt, Sebastian (AUTHOR)
Arnold, Benjamin (AUTHOR)
Markert, Erik (AUTHOR)
Hahn, Susann (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Heinkel, Ulrich (AUTHOR)
Mehner, Jan (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science. Oct2019, Vol. 216 Issue 19, pN.PAG-N.PAG. 1p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 7 7.

Tytuł :: Highly Miniaturized MEMS‐Based Test Platforms for Thermo‐Mechanical and Reliability Characterization of Nano‐Functional Elements − Technology and Functional Test Results.
Autorzy :: Meszmer, Peter (AUTHOR)
Hahn, Susann (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Wunderle, Bernhard (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science. Oct2019, Vol. 216 Issue 19, pN.PAG-N.PAG. 1p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 8 8.

Tytuł :: Sensoric Micro and Nano Systems.
Autorzy :: Zahn, Dietrich R. T. (AUTHOR)
Schulz, Stefan E. (AUTHOR)
Hiller, Karla (AUTHOR)
Wagner, Christian (AUTHOR)
Reuter, Danny (AUTHOR)
Otto, Thomas (AUTHOR); Pokaż więcej
Źródło :: Physica Status Solidi. A: Applications & Materials Science. Oct2019, Vol. 216 Issue 19, pN.PAG-N.PAG. 1p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 9 9.

Tytuł :: Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater.
Autorzy :: Meszmer, Peter
Hiller, Karla
Hartmann, Steffen
Shaporin, Alexey
May, Daniel
Rodriguez, Raul
Arnold, Jörg
Schondelmaier, Gianina
Mehner, Jan
Zahn, Dietrich
Wunderle, Bernhard; Pokaż więcej
Źródło :: Microsystem Technologies. Jun2014, Vol. 20 Issue 6, p1041-1050. 10p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 10 10.

Tytuł :: Fabrication and characterization of a force coupled sensor–actuator system for adjustable resonant low frequency vibration detection
Autorzy :: Forke, Roman
Scheibner, Dirk
Hiller, Karla
Gessner, Thomas
Dötzel, Wolfram
Mehner, Jan; Pokaż więcej
Źródło :: Sensors & Actuators A: Physical. Jul2008, Vol. 145-146, p245-256. 12p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Skocz do pozycji: 11 11.

Tytuł :: A new vacuum friction gauge based on a Si tuning fork
Autorzy :: Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Mehner, Jan
Dötzel, Wolfram
Gessner, Thomas
Iwert, Thomas
Biehl, Steffen; Pokaż więcej
Źródło :: Sensors & Actuators A: Physical. Apr2002, Vol. 97/98, p167. 6p.
: Czasopismo naukowe

Szczegóły

Informacja