- Tytuł:
- Modal characteristics of coupled MEMS resonator array under the effect of residual stress
- Autorzy:
- Źródło:
- In Sensors and Actuators: A. Physical 1 January 2022 333
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.