- Tytuł:
- Preparation of five-layered Si/Si xGe 1− x nano-films by RF helicon magnetron sputtering
- Autorzy:
- Źródło:
- In Applied Surface Science 2007 254(1):308-311
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.