- Tytuł:
- The structure of Si–SiO 2 layers with high excess Si content prepared by magnetron sputtering
- Autorzy:
- Źródło:
-
In
Thin Solid Films 2009 517(18):5468-5473
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.