- Tytuł:
- Impact of annealing on material and electrical characteristics of lithium phosphate thin films on silicon carbide
- Autorzy:
- Temat:
-
Lithium phosphate
4H–SiC
Thin film
Post-deposition annealing
RF sputtering
Mining engineering. Metallurgy
TN1-997 - Źródło:
- Journal of Materials Research and Technology, Vol 24, Iss , Pp 1579-1588 (2023)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S223878542300488X; https://doaj.org/toc/2238-7854
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/080690a9589249dc9a5388842fd122ec  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe