- Tytuł:
- Homogeneity and Thermal Stability of Sputtered Al0.7Sc0.3N Thin Films
- Autorzy:
- Temat:
-
AlScN films
30% Sc-doped AlN
reactive magnetron sputtering
temperature stability
FBAR
BAW devices
Technology
Electrical engineering. Electronics. Nuclear engineering
TK1-9971
Engineering (General). Civil engineering (General)
TA1-2040
Microscopy
QH201-278.5
Descriptive and experimental mechanics
QC120-168.85 - Źródło:
- Materials, Vol 16, Iss 6, p 2169 (2023)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- https://www.mdpi.com/1996-1944/16/6/2169; https://doaj.org/toc/1996-1944
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/f2aead146ac44581ae8ff554e40eee8b  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe