- Tytuł:
- Monolithic back-end-of-line integration of phase change materials into foundry-manufactured silicon photonics
- Autorzy:
- Temat:
- Science
- Źródło:
- Nature Communications, Vol 15, Iss 1, Pp 1-9 (2024)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- https://doaj.org/toc/2041-1723
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/1174f7d3869f495d9a6c232daa91b82c  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe