- Tytuł:
- Ion- and temperature-induced 3-dimensional nanoscale patterning in Ti1-xAlxN deposited by High Power Impulse Magnetron Sputtering
- Autorzy:
- Źródło:
- In Thin Solid Films 30 September 2023 781
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.