- Tytuł :
- Oxygen incorporated during deposition determines the crystallinity of magnetron-sputtered Ta3N5 films
- Autorzy :
- Źródło :
- In Thin Solid Films 1 September 2019 685:204-209
-
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.