- Tytuł:
- Alumina layers deposited by atomic layer deposition with different precursors: Surface photovoltage measurements
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronics Reliability November 2023 150
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.