- Tytuł:
- Atomic-scale characterization of plasma-induced damage in plasma-enhanced atomic layer deposition.
- Autorzy:
- Źródło:
- Applied Surface Science. Dec2017, Vol. 425, p781-787. 7p.
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.