- Tytuł:
-
Design and Characterization of a Fully Differential MEMS Accelerometer Fabricated Using
MetalMUMPs Technology - Autorzy:
- Temat:
-
accelerometer
MetalMUMPs
capacitive sensor
fully differential sensing
Chemical technology
TP1-1185 - Źródło:
- Sensors, Vol 13, Iss 5, Pp 5720-5736 (2013)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- http://www.mdpi.com/1424-8220/13/5/5720; https://doaj.org/toc/1424-8220
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/c22a57b84d40428884dbc2154321d7dc  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe