- Tytuł :
-
Electrical Characterization of Electron Beam Exposure Induced Defects in Epitaxially Grown n-type
Silicon . - Autorzy :
- Temat :
-
ELECTRON beams
ELECTRON beam depositionSILICON - Źródło :
- AIP Conference Proceedings; 2019, Vol. 2109 Issue 1, p080003-1-080003-4, 4p, 2 Graphs
-
Konferencja