- Tytuł:
- Prediction of the evolution of defects induced by the heated implantation process: Contribution of kinetic Monte Carlo in a multi-scale modeling framework
- Autorzy:
- Źródło:
- In Solid State Electronics February 2023 200
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.