- Tytuł:
- Oxidation dynamics of Cu thin film on Si surface by mass analyzed O+ ion implantation and study their electrical and optical properties
- Autorzy:
- Źródło:
- In Thin Solid Films 31 December 2023 787
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.