- Tytuł :
- Microwave enhanced ion-cut silicon layer transfer.
- Autorzy :
- Temat :
-
MICROWAVE heating
SILICON
SCANNING electron microscopy
ANNEALING of crystals
ELECTRICITY
ATOMIC force microscopy - Źródło :
- Journal of Applied Physics; 6/1/2007, Vol. 101 Issue 11, p114915, 8p, 3 Diagrams, 2 Charts, 3 Graphs
-
Czasopismo naukowe