- Tytuł:
-
Hydrogen-implantation induced
silicon surface layer exfoliation. - Autorzy:
- Temat:
-
SILICON
CHEMICAL peel
HYDROGEN
ION implantation
NUCLEATION
GEOMETRIC surfaces - Źródło:
- Philosophical Magazine B; 11/11/2000, Vol. 80 Issue 11, p1921-1931, 11p
Czasopismo naukowe