- Tytuł:
- Investigation of Plasma Induced Etch Damage/Changes in AlGaN/ GaN HEMTs.
- Autorzy:
- Źródło:
- International Journal of Nanoelectronics & Materials. 2021 Special Issue, Vol. 14, p29-36. 8p.
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.